真空干燥箱(带HMDS系统)

型号:HMDS系统

在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。…

带预处理系统真空干燥箱HMDS6210

型号:HMDS-6210(HASUC独家产品)

真空干燥箱真空度可达到133Pa,整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100 级光刻间净化环境。

半导体行业专用烘箱HMDS6210

型号:HMDS-6210(HASUC自有品牌)

半导体行业专用烘箱温度分辨率为0.1℃温度波动度为±0.5℃

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